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Bcc的研究将这个市场分为微型马达系统、生物芯片和纳米传感器。微电机系统是最大的微传感器市场，2007年的销售收入为22亿美元。该市场的销售收入2008年将达到26亿美元，2013年将达到64亿美元，复合年增长率为19.6%。2007年，微电机系统占整个微传感器市场的82.8%。这一比例将在2013年降至76.5%。生物芯片是第二大市场，2007年销售收入为4.65亿美元，2008年预计销售收入为5.815亿美元，2013年预计销售收入为18亿美元，复合年增长率为25.6%。2007年，生物芯片占集成微传感器市场的17.2%，预计到2013年将增至21.6%。2008年后，纳米传感器的商业销售将大幅增长，到2013年，销售收入将达到1.599亿美元，占集成微传感器市场份额的近2%。2007年，微电机系统压力传感器是最大的微电机传感器市场，其次是微电机系统过载传感器、生物芯片、微电机系统陀螺仪、化学气体和热传感器等。