世界上首台紫外光源22纳米分辨率
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11月29日，中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研设备开发项目“超分辨率光刻设备的开发”通过验收，这是世界上第一台用紫外光源实现22纳米分辨率的光刻机。
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